机译:通过双频电压波形控制射频电热微生机中的电子,离子和中性加热
York Plasma Institute Department of Physics University of York Heslington York YO10 5DD United Kingdom;
York Plasma Institute Department of Physics University of York Heslington York YO10 5DD United Kingdom;
Space Plasma Power and Propulsion Laboratory Research School of Physics and Engineering The Australian National University ACT 02601 Australia;
Space Plasma Power and Propulsion Laboratory Research School of Physics and Engineering The Australian National University ACT 02601 Australia;
York Plasma Institute Department of Physics University of York Heslington York YO10 5DD United Kingdom;
plasma sources; plasma sheaths; electrothermal; dual-frequency waveforms; heating mechanisms; DC self-bias;
机译:通过双频电压波形控制射频电热微生机中的电子,离子和中性加热
机译:通过定制电压波形通过结构电极增强了射频等离子体中的电离速率的控制
机译:使用电压波形调整分别控制电容耦合射频放电中的离子通量和离子能量
机译:电子加热和由定制电压波形驱动的电容性放电中的离子特性控制
机译:利用电容驱动射频等离子体电压波形剪裁的带电粒子动力学和电子功率吸收动力学的控制
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:射频电热等离子体微型推进器中的中性气体加热直接测量中性气体加热
机译:实现DIII-D中性束加热波形的准实时显示。