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首页> 外文期刊>Surface and Interface Analysis: SIA: An International Journal Devoted to the Development and Application of Techniques for the Analysis of Surfaces, Interfaces and Thin Films >Phase composition of the buried silicon interlayers in the amorphous multilayer nanostructures [(Co45Fe45Zr10)/a-Si:H](41) and [(Co45Fe45Zr10)(35)(Al2O3)(65)/a-Si:H](41)
【24h】

Phase composition of the buried silicon interlayers in the amorphous multilayer nanostructures [(Co45Fe45Zr10)/a-Si:H](41) and [(Co45Fe45Zr10)(35)(Al2O3)(65)/a-Si:H](41)

机译：非晶多层纳米结构[（CO45FE45ZR10）/ A-Si：H]（41）和[（CO 4 5 FE45ZR10）（35）（Al 2 O 3）/ A-Si：H]（41）中的相组合物

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We consider two amorphous multilayer nanostructures (MLNS) [(Co45Fe45Zr10)/a-Si:H](41)-I and [(Co45Fe45Zr10)(35)(Al2O3)(65)/a-Si:H](41)-II that were obtained by ion-beam sputtering. For determination of the phase composition of the buried amorphous silicon interlayers in these MLNS, we used nondestructive ultrasoft X-ray emission spectroscopy technique (USXES). The use of the USXES enables to register the silicon Si L-2,L-3-spectra providing the information about the local partial densities of Si s and d occupied states of silicon valence band in silicon-contained materials. According to the simulation and fitting procedure to the experimental data, Fe3Si and a small amount of oxide (SiO2:H) were found in the interlayer of MLNS-I. At the same time, the content of silicon dioxides (SiO2) decrease from surface layers to the deep ones. On the other hand, simulation of the phase composition of MLNS-II reveals the presence of the silicides Fe3Si and Co2Si, oxides SiO2 and SiO1.3, and a small amount of a-Si:H. The percentage of cobalt silicide Co2Si and suboxide SiO1.3 increased in the deep layers of the MLNS-II.
机译：我们考虑两个无定形多层纳米结构（MLNS）[（CO 45FE45ZR10）/ A-Si：H]（41）-I和[（CO 4 5 Fe 4 5 Zr 10）（35）（35）（Al 2 O 3）/ A-Si：H]（41） - II通过离子束溅射获得。为了测定这些MLNS中掩埋非晶硅中间层的相组合物，我们使用了非破坏性超声X射线发射光谱技术（USXES）。 USXES的使用使得能够注册硅SI L-2，L-3光谱，提供有关硅载物料中硅价带的局部部分密度的局部部分密度的信息。根据实验数据的模拟和装配过程，在MLNS-I的中间层中发现Fe3SI和少量氧化物（SiO 2：H）。同时，二氧化硅含量（SiO2）从表面层降低到深层。另一方面，MLNS-II的相组合物的模拟显示硅化物Fe3Si和CO2SI，氧化物SiO 2和SiO1.3的存在，以及少量A-Si：h。硅化物CO2SI和亚氧化钴SiO1.3的百分比在MLNS-II的深层中增加。

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