レーザ蒸着法による硬磁性膜の作製

著录项

• 来源
  《まぐね》 |2017年第1期|共5页
• 作者

  中野正基; 山下昂洋; 柳井武志; 板倉賢; 藤原良元; 進士忠彦; 福永博俊;

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• 作者单位

  長崎大学大学院工学研究科;

  長崎大学大学院工学研究科;

  長崎大学大学院工学研究科;

  九州大学大学院総合理工学研究院;

  東京工業大学科学技術創成研究院;

  東京工業大学科学技術創成研究院;

  長崎大学大学院工学研究科;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 jpn
• 中图分类 电磁学、电动力学;
• 关键词

  rare-earth film magnet; micro-electro-mechanical-systems (MEMS); pulsed laser deposition (PLD); micro- machining;

  机译：稀土薄膜磁铁;微机电系统（MEMS）;脉冲激光沉积（PLD）;微加工;