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島津製作所、半導体洗浄液中の微量な金属元素を短時間で測定する新技術を開発、レーザー誘起プレークダウン分光法としては世界最高レベルの感度

机译:Shimadzu制造有限公司开发新技术,用于在短时间内测量半导体清洁溶液中的少量金属元素,并作为激光诱导的浮雕光谱,世界上最高级别的灵敏度

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摘要

島津製作所は、レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS:Laser Induced Breakdown Spectroscopy)の原理を用いて、同手法としては世界最高クラスの感度で微量な金属元素を測定する新技術を開発し、試作機による実証実験を開始した。同社は、半導体洗浄液に含まれる微量な銅やアルミニウム、チタンといった金属の測定·モニタリングにこの技術の適用を進め、2020年内に製品化することを目指す。また、新技術は、半導体以外の分野での活用も期待できることから、用途開拓を進める。
机译:Shimadzu Corporation采用激光诱导击穿光谱(LIBS:激光诱导击穿光谱)的原理,并开发了衡量少量金属元素的新技术,具有世界上最高级别的敏感性,并开始演示实验。 该公司旨在将该技术应用于金属测量和监测,如半导体清洁流体中包含的痕量铜,铝和钛,并旨在在2020内商业化。 此外,还可以预期新技术在半导体以外的地区使用,因此我们将促进应用程序开发。

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  • 来源
    《金属時評》 |2018年第2415期|共2页
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  • 正文语种 jpn
  • 中图分类 冶金工业;
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