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バイオMEMS総論

机译：生物MEMS将军

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摘要

MEMSの中で特に注目されているのは，携帯電話のスイッチに使用されないかなど検討されているRF-MEMS，加速度センサなどの物理センサ，医療やバイオ研究，薬剤関連への適用を目指したバイオMEMS，マイクロミラー応用デバイスなどの光MEMSがある。 この中で思ったより実用化が進hではいないが，将来への期待が大きいのがバイオMEMSである。 マイクロマシンセンターの調査だと，2002年のバイオテクノロジ関連分野の国内市場規模が141億円であったが，2010年には400億円に増大すると予測されている。 バイオMEMSにはバイオセンサ，μTAS(μTotal Analysis)，コンビナトリアルケミストリや分析装置などが例として挙げられる。主なバイオMEMSを表1にまとめる。
机译：它特别专注于认为用于用于蜂窝开关的MEM，例如加速度传感器等物理传感器，以及生物技术和生物技术和生物技术。存在光MEMS，例如MEMS和微镜应用装置。 虽然实用性没有从这方面进行渐进，但这是未来很大的生物MEM。 2002年生物技术相关领域的微机械中心调查为141亿日元，但预计2010年将增加到400亿日元。 Bio-MEMS包括生物传感器，μTAs（μTotal分析），组合化学，分析仪等作为示例。 主体生物邮件总结在表1中。

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