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粉粒体用静電チャックの基礎特性と人工播種への応用

机译：粉末颗粒静电卡盘的基本特性及人工播种

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粉粒体を搬送する装置として，振動フィーダー，ロータリーフィーダーあるいはテーブルフィーダーなどの方法が提案されており，微量の定量供給も可能になってきている．しかし，これらの供給方法は機械的な力で粉粒体を押し出す構造になっているため，粉粒体の流動性の違いによって供給量が大きく変化したり，機械的な力で壊れやすい粉粒体の供給が困難であったりする問題がある．また，ごく微量の粉粒体をとり扱うのは困難であるため，このような場合は1粒1粒を掴hで離すマニピュレーション方法を用いることになる，例えば，比較的大きなものはピンセットや2本針等があり，真空チャックやレーザーを用いる方法等，さらに，静電気力を用いる方法も提案されている．これらの粉粒体のマニピュレーション方法は，1度に粉粒体1粒のみをマニピュレーションする方法（One-by-one-method）であり，複数の粉粒体を1度に取り扱う方法（Many-at-once-method）の研究はあまり進められていない．本研究では単極性静電チャックの原理を応用し，一度に複数粒のマニピュレーションを行う装置の開発を行った．これは，絶縁被膜した電極の表面に粉粒体を誘導帯電させて吸着する機構と，吸着した粉粒体を除電して脱着させる機構を分けたことを特徴とする装置である．本論文では，その基礎特性を調べ，動作原理を明ら，かにした．また，その応用例の一つとして人工播種について検討した結果について報告する．
机译：作为用于输送粉末体的装置，已经提出了一种诸如振动进给器，旋转进给器或台式进料器的方法，并且还可以进行少量的量化。然而，由于这些供应方法具有将粉末挤出成机械力的结构，因此由于粉末体的流动性差异，因此供应量的量显着变化，或者通过机械力破坏机械力身体供应困难的问题。另外，由于难以治疗非常少量的粉末颗粒，因此使用一种颗粒1粒1颗粒来释放操纵方法，例如，镊子相对较大，并且2还存在使用真空的方法Chuck或激光器，以及使用真空吸盘或激光的方法，以及使用静电力的方法。这些粉末颗粒的操纵方法是一次仅操纵一个粒状晶粒（一逐一方法）并一次处理多个粉末颗粒（许多-On）的-once-方法的研究）没有已进入。在这项研究中，我们应用了单极静电卡盘的原理，并开发了一次进行多颗粒操作的装置。这是一种装置，其特征在于，通过擦除和解吸吸附的粉末体，除以用于电感充电和吸附在绝缘膜电极的表面上的粉末体的机构。在本文中，研究了基本特征，并揭示了操作原理。此外，作为应用程序示例之一，我们报告了考虑人工播种的结果。

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