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フレキシブルOLEDディスプレイ向け封止ALD装置

机译:柔性OLED显示屏密封ALD装置

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摘要

近年、OLED(Organic Light Emitting Diode:有機発光ダイオード)は、スマートフォンや大型テレビなどに適用され、その市場は拡大中であるが、その中でもフレキシブルOLEDディスプレイが特に注目されている。フレキシブルOLEDディスプレイにおいては、従来のガラス封止に代わる封止膜としてCVD(ChemicalVapor Deposition:化学気相堆積)膜と樹脂を積層する構造が検討されてきたが、十分な繰り返し折り曲げ耐性が得られないという問題があった。そこで、その課題を解決する手段として、ALD法(AtomicLayerDeposition:原子層堆積)が注目を集めている。当社では、ALD膜をフレキシブルOLEDディスプレイ封止膜へ適用することを目的とし、ALD装置開発及び販売を行っている。
机译:近年来,OLED(有机发光二极管:有机发光二极管)已应用于智能手机和大型电视,并且市场正在扩展,而柔性OLED显示器则特别聚焦。 在柔性OLED显示器中,研究了用于层叠CVD(化学气相沉积)膜和树脂作为更换常规玻璃密封的密封膜的结构,但不能获得足够的重复弯曲性。存在问题。 因此,作为解决问题的手段,ALD方法(原子层沉积:原子层沉积)引起了注意力。 我们旨在将ALD电影应用于柔性OLED显示屏密封膜,并正在开发和销售ALD设备。

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