Elemental and Chemical Analysis with High-Spatial Resolution using Electron Energy-Loss Spectroscopy in Transmission Electron Microscope

Koji KIMOTO

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Elemental and Chemical Analysis with High-Spatial Resolution using Electron Energy-Loss Spectroscopy in Transmission Electron Microscope

机译：具有高空间分辨率的元素和化学分析，在透射电子显微镜中使用电子能损光谱法

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Microanalysis using electron energy-loss spectroscopy (EELS) in transmission electron microscope (TEM) is briefly reviewed. The method and the experimental results of elemental mapping and chemical analysis are shown. The detection limit, spatial resolution and practical aspects in TEM-EELS are also presented.

机译：简要介绍了在透射电子显微镜（TEM）中使用电子能损光谱（EEL）的微量分析。显示了元素映射和化学分析的方法和实验结果。还提出了TEM-EELS中的检测限，空间分辨率和实际方面。

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来源
《日本结晶学会志》 |2002年第6期|共10页
作者
Koji KIMOTO;
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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类晶体学;
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