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MEMSコリオリ式マスフローコントローラ: 新規センサー開発と微小流量測定·制御ソリューションの改善

机译：MEMS科里奥利质量流量控制器：新型传感器开发和微流量测量和控制解决方案改进

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摘要

ブロンコストは小型のガス用マスフローメータ·マスフローコントローラIQ+FLOWなどで実績のあるMEMS（Micro Electro Mechanical System）技術に着目し、新たな製品開発に取り組hできた。一方で、MEMSベースのセンサーは耐食性や耐圧の面で適用し難い流体や用途があり、既存のセンシング技術の改良も進めている。また、微小流量の正確な測定·制御のためには流量センサーの性能自体も重要であるが、機器前後の設備構成がトータルの精度や繰り返し性に影響を及ぼすことが実験室およびフィールドでの経験から明らかとなっている。ブロンコストは機器単体の性能向上のみならず小流量流体の取り扱い技術（LOW FLOW FLUIDIC HANDLING TECHNOLOGY）の面でもより良いソリューションの提供を目指しており、その一端を紹介する。
机译：通过小型气体质量流量计质量流量控制器IQ +流量，布朗锥专注于MEMS（微电器系统）技术，并已开发出新产品开发。 另一方面，基于MEMS的传感器具有难以在耐腐蚀性和耐电压方面难以应用的流体和应用，并且还改善了现有的传感技术。 此外，虽然流量传感器本身的性能对于精确测量和控制微流量也很重要，但是设备前后设备配置的实验室和领域的经验会影响总准确性和可重复性。它很清楚。 Broncost旨在在小型流体流动处理技术的性能方面提供更好的解决方案，也可以单独使用设备的末端，并引入一端。

著录项

  • 来源
    《計測技術》 |2019年第625期|共5页
  • 作者

    杉山彰教;

  • 作者单位

    ブロンコスト·ジャパン㈱;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类 计量学;
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