プラズマCVD法によるカーボンナノファイバー·ナノチューブの低温合成

本多信一; Shin-ichi Honda

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プラズマCVD法によるカーボンナノファイバー·ナノチューブの低温合成

机译：等离子体CVD法低温合成碳纳米纤维纳米管

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炭素系ナノ構造体であるカーボソナノファイバー（CNF）·カ"ボソナノチュMブ（CNT）は，その特典な性質から，従来のエレクトロニクスに代わる次世代のナノエレクトロニクスを切り開く可能性を大きく秘めた材料であり，電子源，分子セソサ｛，スーパーキャパシターなどの様々な応用が期待されている．CNF·CNTを用いたナノデバイスを実現させるためにほ，CNF·CNTを低温成長させることが重要であるものの，CNF·CNTの低温合成法が確立されていないのが現状である．

机译：碳基纳米结构碳酸碱纤维（CNF）和Ka“嗜乳糖M（CNT），其益处特性，具有大潜力的材料，该材料打开下一代纳米电子学更换传统电子器件。是的，电子源等各种应用，预期的分子筛片（和超级电容器）。，NNF·CNT的低温合成方法不建立电流情况。

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来源
《生産と技術》 |2004年第1期|共3页
作者
本多信一; Shin-ichi Honda;
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作者单位

大阪大学大学院工学研究科;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类一般工业技术;
关键词
carbon nanofiber; carbon nanotube; inductively coupled plasma plasma enhanced chemical vapor deposition; low-temperature process;

机译：碳纳米纤维;碳纳米管;电感耦合等离子体等离子体增强化学气相沉积;低温工艺;

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