Эволюция микролунок на широких террасах поверхности Si(111) в процессе высокотемпературного отжига

А.С. Петров; С.В. Ситников; С.С. Косолобов; А.В. Латышев

首页> 外文期刊>Физика и техника полупроводников >Эволюция микролунок на широких террасах поверхности Si(111) в процессе высокотемпературного отжига

【24h】

Эволюция микролунок на широких террасах поверхности Si(111) в процессе высокотемпературного отжига

机译：上在高温度下退火的Si的表面宽梯田微孔的演进（111）

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Методом in situ сверхвысоковакуумной отражательной электронной микроскопии проведены исследования трансформации микролунок на широких террасах поверхности Si(111), не содержащей вицинальных атомных ступеней, при термическом отжиге подложки в интервале 1200-1400°C. Предложена методика создания микролунок на широких террасах поверхности Si(111) с применением технологии фокусированного ионного пучка (Ga~+). Обнаружено, что кинетика разрастания микролунки меняется при достижении ею критического радиуса R_(crit), что обусловлено активацией процесса зарождения двумерных вакансионных островков на дне микролунки. Предложена теоретическая модель, описывающая изменения латеральных размеров микролунки как до, так и после достижения R_(crit). На основе анализа полученной температурной зависимости частот зарождения двумерных вакансионных островков на дне микролунки определена эффективная энергия зародышеобразования вакансионного островка —4.1 ± 0.1 эВ.

机译：在Si（111）表面的宽露台上进行了研究的Microolo转化的研究，不含有张开原子步骤，在1200-1400℃的间隔内进行热基材退火。提出了一种用于在宽表面梯田上创建微罗的方法，通过使用聚焦离子束技术（GA〜+）。发现当它到达临界半径R_（CRIT）时，微辊颜色的动力学变化，这是由于在底部的二维空位岛的诞生过程中的激活来激活microleanka。提出了理论模型，其描述了微透镜的横向尺寸的变化，如前后到达R_（CRIT）。基于分析Microlus底部的二维空位岛的增加频率的产生温度依赖性，确定空位岛成核的有效能量-4.1±0.1eV。

著录项

来源
《Физика и техника полупроводников》 |2019年第4期|共6页
作者
А.С. Петров; С.В. Ситников; С.С. Косолобов; А.В. Латышев;
展开▼
作者单位

Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук 630090 Новосибирск Россия;

Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук 630090 Новосибирск Россия;

Сколковский институт науки и технологий 143026 Москва Россия;

Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук 630090 Новосибирск Россия;

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类半导体物理学;
关键词

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. First-principles calculations on wetting interface between Ag-Cu-Ti filler metal and SiC ceramic: Ag (111)/SiC (111) interface and Ag (111)/TiC (111) interface [J] . Yang Jian, Ye Zheng, Huang Jihua, Applied Surface Science . 2018,第DECa31期

机译：Ag-Cu-Ti填充金属与SiC陶瓷之间润湿界面的第一性原理计算：Ag（111）/ SiC（111）界面和Ag（111）/ TiC（111）界面
2. Sequential epitaxial growth of (111)Cu/(111)HfN bilayered film on (111)Si and diffusion barrier property of (111)HfN film [J] . Satoko Shinkai, Katsutaka Sasaki 電子情報通信学会技術研究報告. 電子部品·材料. Component Parts and Materials . 2000,第395期

机译：（111）Cu /（111）HFN双层膜的顺序外延生长（111）Si和（111）HFN膜的扩散阻隔性
3. Density functional theory study of the interaction of H2O, CO2 and Co with the ZrO2 (111), Ni/ZrO2 (111), YSZ (111) and Ni/YSZ (111) surfaces [J] . Cadi-Essadek Abdelaziz, Roldan Alberto, de Leeuw Nora H. Surface Science . 2016,第NOVa期

机译：H2O，CO2和Co与ZrO2（111），Ni / ZrO2（111），YSZ（111）和Ni / YSZ（111）表面相互作用的密度泛函理论研究
4. Atomistic simulation and density functional analysis of Ni(111)-ZrO{sub}2(100) (cubic) and NiO(111)-Ni(111)-ZrO{sub}2 (cubic) interfaces [C] . Chang-Xin Guo, Donald F. Ellis, Vinayak P. Dravid, MRS Meeting . 2001

机译：Ni（111）-Zro {sub} 2（三组）和Nio（111）-NI（111）-NI（111）-Zro {Sub} 2（立方）接口的原子仿真和密度函数分析
5. Mycenaean contact with South Italy in the LH111B2 period an examination of LH111B2 pottery in South Italy and Sicily as evidence for the extent of the contact between Greece and Italy during the LH111B2 period [D] . Jansen, Anton Godfried 1988

机译：迈锡尼人在LH111B2时期与意大利南部的接触，对意大利南部和西西里岛的LH111B2陶器进行了检查，以证明LH111B2时期希腊和意大利之间的接触程度
6. Lattice parameter accommodation between GaAs(111) nanowires and Si(111) substrate after growth via Au-assisted molecular beam epitaxy [O] . Anton Davydok, Steffen Breuer, Andreas Biermanns, 2012

机译：通过Au辅助分子束外延生长后的GaAs（111）纳米线和Si（111）衬底之间的晶格参数调节
7. Density functional theory study of the interaction of H2O, CO2 and CO with the ZrO2 (111), Ni/ZrO2 (111), YSZ (111) and Ni/YSZ (111) surfaces [O] . Cadi-Essadek Abdelaziz, Roldan Martinez Alberto, De Leeuw Nora 2016

机译：H2O，CO2和CO与ZrO2（111），Ni / ZrO2（111），YSZ（111）和Ni / YSZ（111）表面相互作用的密度泛函理论研究

Эволюция микролунок на широких террасах поверхности Si(111) в процессе высокотемпературного отжига

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅