действие мощных нано- и фемтосекундных лазерных импульсов на кремниевые наноструктуры

Г.А. КачуриФ; С.Г  Черкова; В.А. Володин; Д.В. Марин  М; G.A. Kachurin; S.G. Cherkova; V.A. Volodin; D.V. Mann

首页> 外文期刊>Физика и техника полупроводников >действие мощных нано- и фемтосекундных лазерных импульсов на кремниевые наноструктуры

【24h】

действие мощных нано- и фемтосекундных лазерных импульсов на кремниевые наноструктуры

机译：上硅纳米结构强大作用纳米和飞秒激光脉冲

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Изучено действие мощных наносекундных (20 нс) и фемтосекундных (120 фс) лазерных импульсов на кремниевые наноструктуры, создаваемые ионно-лучевым синтезом в слоях 8Юг или осаждением на стеклянные подложки, Наносекундные отжиги приводят к появлению полосы фотолюминесценции вблизи 500 нм, ее интенсивность растет с энергией и числом импульсов,. Источниками излучения считаются кластеры атомов 81, сегрегированных из окисла. Наносекундные импульсы позволяют также кристаллизовать аморфные кремниевые нанопреципигаты в 8Юг Сильное легирование способствует кристаллизации. Длительности фемтосекундных импульсов недостаточно для сегрегации избыточного 81 из 8Юг Вместе с тем они кристаллизуют тонкие пленки а-5 на стекле. Диапазон энергий обоих типов импульсов( при которых наблюдалась кристаллизация, допускал кратковременное плавление поверхности.

机译：在硅纳米结构上的强大纳秒（20ns）和飞秒（120 fs）激光脉冲的作用，通过在玻璃基板上的层8yus或沉淀中由离子射线合成产生，纳秒退火导致光致发光带接近500nm的外观强度随能量和脉冲的数量而增长。辐射源被认为是从氧化物中偏析的原子81簇。纳秒脉冲还允许在8糖中结晶无定形硅纳米填充物。强掺杂有助于结晶。飞秒脉冲的持续时间不足以用于81中的过量81，同时，它们在玻璃上结晶细膜A-5 。两种类型的脉冲的能量范围（观察到结晶，允许表面的短期熔化。

著录项

来源
《Физика и техника полупроводников》 |2008年第2期|共6页
作者
Г.А. КачуриФ; С.Г Черкова; В.А. Володин; Д.В. Марин М; G.A. Kachurin; S.G. Cherkova; V.A. Volodin; D.V. Mann;
展开▼
作者单位

Институт физики полупроводников им А В. РжановаСибирского отделения Российской академии наук 630090 Новосибирск Россия;

Институт физики полупроводников им А В. РжановаСибирского отделения Российской академии наук 630090 Новосибирск Россия;

Институт физики полупроводников им А В. РжановаСибирского отделения Российской академии наук 630090 Новосибирск Россия;

Институт физики полупроводников им А В. РжановаСибирского отделения Российской академии наук 630090 Новосибирск Россия;

A.V. Rzhanov Institute of Semiconductor Physics Russian Academy of Sciences Siberian Branch 630090 Novosibirsk Russia;

A.V. Rzhanov Institute of Semiconductor Physics Russian Academy of Sciences Siberian Branch 630090 Novosibirsk Russia;

A.V. Rzhanov Institute of Semiconductor Physics Russian Academy of Sciences Siberian Branch 630090 Novosibirsk Russia;

Laser Zentrum Hannover 30419 Hannover Germany;

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类半导体物理学;
关键词

相似文献

中文文献
专利

действие мощных нано- и фемтосекундных лазерных импульсов на кремниевые наноструктуры

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅