Аномальная растворимость имплантированного азота в кремнии, сильно легированном бором

著录项

• 来源
  《Физика и техника полупроводников》 |2004年第7期|共3页
• 作者

  Д. И. Тетельбаум; Е. И. Зорин; Н. В. Лисенкова; D. I. Tetelbaum; E. I. Zorin; N. V. Lisenkova;

  展开▼
• 作者单位

  Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского 603950 Нижний Н;

  Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского 603950 Нижний Н;

  Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского 603950 Нижний Н;

  Physicotechnical Research Institute of the University of Ntzhny Novgorod 603950 Nizhny Novgorod Russia;

  Physicotechnical Research Institute of the University of Ntzhny Novgorod 603950 Nizhny Novgorod Russia;

  Physicotechnical Research Institute of the University of Ntzhny Novgorod 603950 Nizhny Novgorod Russia;

  展开▼
• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 rus
• 中图分类 半导体物理学;
• 关键词