SiC基板表面における浸漬法による自己組織化膜形成－Study on self-assembled monolayers by the immersion method on SiC substrate

鈴木悠矢; 広瀬雄治; 玉置祥平; 宮川鈴衣奈; 木下隆利; 江龍修

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SiC基板表面における浸漬法による自己組織化膜形成－Study on self-assembled monolayers by the immersion method on SiC substrate

机译：通过浸渍法在SiC衬底上浸没在自组装单层上的SiC基板表面 - 浸渍法的自组装成膜

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高品質なGaN膜の結晶成長を実現するため、ペプチド素子の自己組織化を用いたSiC微細加工法を提案する。本手法は、ペプチド素子のもつ電荷と、化合物基板の電気陰性度の違いを利用した自己組織化により、ペプチド素子を数nmオーダーで規則的に配列させる。浸漬法によりSiC基板上にペプチド膜を作製した結果、nmオーダーの繊維状ペプチドの堆積に成功した。ペプチド素子の堆積は、浸漬初期段階では規則性をもたない粒子状の堆積だったのに対し、十分な日数の浸漬により規則性をもった繊維状に堆積することがわかった。

机译：为了实现高质量的GaN薄膜的晶体生长，我们提出了一种使用肽装置的自组装的SiC微生物方法。通过使用肽元素的电荷和化合物基材的电负性差异，通过自组装和复合基板的电负性差来定期设置在几个NM中的方法。通过浸渍方法在SiC衬底上产生肽膜，它成功地沉积NM级纤维肽。发现肽元素的沉积是纤维状纤维状纤维形状，其浸入量足够数量的天数，而在浸入式初始阶段。

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来源
《電子情報通信学会技術研究報告. 電子デバイス. Electron Devices》 |2015年第63期|共5页
作者
鈴木悠矢; 広瀬雄治; 玉置祥平; 宮川鈴衣奈; 木下隆利; 江龍修;
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作者单位

名古屋工業大学院工学研究科産業戦略工学専攻;

名古屋工業大学院工学研究科産業戦略工学専攻;

名古屋工業大学工学部生命·物質工学科;

名古屋工業大学院工学研究科産業戦略工学専攻;

名古屋工業大学工学部生命·物質工学科;

名古屋工業大学院工学研究科産業戦略工学専攻;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类一般性问题;
关键词
SiC; ペプチド; 表面加工; イオン注入; エッチング;

机译：SiC;肽;表面处理;离子植入;蚀刻;

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