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【24h】

成膜装置用治具への基板投入，取出工程への垂直多関節ロボットの適用

机译：用于旋转装置的成形装置中的衬底和垂直铰接机器人在取出过程中的应用

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スマートフォンやタブレット用の液晶パネル製造における成膜工程において，成膜装置への基板の投入および成膜後の基板の取出しを従来は作業者が行っていた。本装置は省人化を目的に，カセットからの基板取出し～成膜用治具への基板セットおよび成膜装置への投入，成膜後の基板を成膜装置から搬出し，成膜治具からワークを取り出して後工程に搬送するまでの一連の工程を3台の垂直多関節ロボットと周辺装置を組み合せて自動化したものである。
机译：在智能手机和片剂的液晶面板制造中的成膜过程中，通常通过在沉积之后将基板和基板引入衬底和基板上的工人。 该装置是为了节省人性，将基板从设定到成膜夹具和成膜装置的盒子基板中提取，并且在成膜装置中进行膜形成后的基板，并形成juit a系列通过组合三个垂直铰接机器人和外围设备，将从工件从工件到后续过程的工件从工件到后处理的步骤。

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