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【24h】

半導体素子を用いたマイクロプラズマ用パルスパワー電源の検討

机译:使用半导体元件研究显微脉冲电源

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摘要

大気圧プラズマでは絶縁破壊が起こると、電子のエネルギーが高く中性ガスの温度が低い非熱平衡プラズマから、アーク放電に代表される熱平衡プラズマへと短時間で移行する。 非熱平衡プラズマを大気圧で生成する方法として、(1)誘電体バリアを電極間に挿入、(2)高速気流や電流制限抵抗を用いる、(3)極短パルスを印加電圧として利用することなどが知られている。 本研究では(3)の極短パルスをマルクス回路の原理を利用して、電極間ギャップ長をマイクロメータオーダ程度とすることにより1kV程度と低電圧で放電可能な大気圧マイクロプラズマ[2]用のパルス電圧の生成を試みた。
机译:在大气压等离子体中,当发生介电击穿时,电子的能量高并且中性气体的温度在短时间内从由电弧放电表示的非热平衡等离子体移动。 作为在大气压下产生非热平衡等离子体的方法,(1)使用高速气流和电流限制电阻在电极和(2)之间插入,(3)使用极端脉冲作为施加的电压等已知。 在该研究中,(3)的最终脉冲用于使用磁体电路的原理来使用电极之间的距离为约1kV和低电压和低电压。用于大气压微血导[2]。我试图产生脉冲电压。

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