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真空中のプラズマ除電のモデル

机译：等离子体静电消除在真空的模型

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摘要

有機ELディスプレイは液晶ディスプレイに比べて薄型軽量、低消費電力、高輝度、高速応答といった優れた性質を持ち、将来的にはフレキシブル性を活かしたウエラブルデバイス等への応用展開が期待できることから精力的な投資と開発が続いている。一方、有機材料は酸素や水と反応して劣化しやすい特徴があり、こうした劣化が製造歩留まりや製品寿命を決める主要因の1つであることから、パネル製造は高真空中で真空蒸着を用いて行われる。製造工程で基板（ガラスまたは光透過性ポリマー）が帯電し、静電気障害を生じうるので除電も必要とされている。大気圧下での静電気除電ではコロナ放電を利用した手法が確立しており、クリーンルーム用コロナ放電イオナイザが各社から市販されている。一方、真空中ではコロナ放電を利用できないので新たな手法を必要とするが、真空中の静電気対策は現場レベルでの対応や知見が表に出て来ておらず、学術的検討が少ないように感じられる。筆者らは、高真空を維持したまま迅速な静電気除電を可能にする、パルスプラズマによる静電気除電を提案し、原理検証試験の結果を報告した。本講演では、ダブルプローブ理論を援用して無衝突プラズマによる静電気除電のメカニズムを検討する。
机译：有机EL显示器具有优异的性能，如薄，轻质，低功耗，高亮度，高速响应，与液晶显示器相比，并且在将来，可以预期应用开发可用于可挥及的可挥手设备等。利用灵活性投资和发展继续。另一方面，由于有机材料是与氧气和水反应的特征，并且容易劣化，因此这种劣化是确定生产产量和产品寿命的主要因素之一，因此面板制造在高真空中高真空沉积。它发生了。由于基板（玻璃或透光聚合物）被充电并且在制造过程中可能发生静电损伤，因此也需要静电消除。在大气压下的静电放电中，已经建立了使用电晕放电的方法，并且洁净室电晕放电电离器可从每家公司商购获得。另一方面，由于电晕放电不能真空使用，因此需要新的方法，但是真空中的静电措施是响应的，并且在现场等级和知识中的发现不包括在表格中，并且仍有很少的学术研究。感受。作者提出了脉冲等离子体的静电电荷去除，其允许快速静态电荷去除，同时保持高真空，并报告了原理验证测试的结果。在这篇讲座中，我们将使用双重探头理论来考虑通过碰撞等离子体的静电电荷去除机制。

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