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電子レンズの設計技術(前篇)(基礎理論から実装技術,装置応用まで)

机译:电子镜头设计技术(前端)(基本理论,安装技术,设备应用)

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摘要

電子レンズの設計技術について2回に分けて概説する,前篇(本講座)では光学設計について解説する.電子光学では電磁ポテンシャルが通常光学の屈折率の働きを担う.電子光学設計は実効的な屈折率であるポテンシャルの空間分布をデザインすることと言えるが,そこにはLaplace場という強い制約が課せられる.そのため電子レンズでほ収差の影響を抑えるために短焦点距離化という手法がとられてきた.代表的な短焦点距離化の原理について紹介する.また近軸軌道方程式から得られる光学パラメータとエミッタンス図を組み合わせた効率的な光学設計手法について述べる.後篇でほ低収差レンズの具体的な設計例やその実装に必要な技術についてまとめる予定である.
机译:在第一部分(主菜)中,我们将在电子镜头设计技术前面解释光学设计。 在电子光学中,电磁电位通常负责光学折射率。 可以说电子光学设计设计潜力的空间分布,这是一种有效的折射率,但是拉普拉斯梯度存在强烈的限制。 因此,已经进行了短焦距以减少与电子透镜的倾斜差的影响。 介绍典型的短焦距的原理。 它还描述了一种有效的光学设计方法,这些方法组合了从段落方程获得的光学参数和发射率图。 计划总结HOL下落镜片的具体设计示例以及其实施所需的技术。

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