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【24h】

拡散シミュレーションに基づく汚染源個所推定法:非一方向流型クリーンルームの汚染対策に有効な汚染源特定の方法

机译:基于扩散模拟的污染源估计方法:一种污染源的特定方法,对非单向清洁室的污染措施有效

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摘要

ンルームを運転·管理されている方々の中で、汚染の原因となる装置や箇所がわかっていればどhなに対策が簡単だろうと考えたことのある人は多いのではないだろうか? しかし、清浄度管理を目的として定期的に実施される濃度測定試験では、通路や作業場所などクリーンルーム内の離散的な測定点での汚染物質濃度評価しかできない。このため、これらのデータから対策すべき汚染源を特定することは、多くの場合極めて困難である。 特に非一方向流型クリーンルームのようにクリーンルーム内の気流性状が複雑な場合には、単一の汚染源から発生した汚染物質が室内の広い範囲に拡散·混合してしまうため、汚染源がどこにあるのかを判定することが非常に難しい。 また一般に、クリーンルーム内には複数の汚染源が存在するため、状況はますます複雑となる。 筆者らは、汚染物質拡散シミュレーシーョンの結果に基づき、クリーンルーム内の汚染源個所を推定する手法を開発した。 本手法は、想定する各汚染源の影響を、どの汚染源が室内の汚染レベルにどの程度影響しているのかを表す汚染寄与率として算定するもので、クリーンルーム管理者はこの寄与率の値にしたがって汚染源対策の優先順位を決定していくことができる。 本稿では、開発した汚染源個所推定法の概要について報告する。
机译:在驾驶和由房间进行管理的人中,有很多人认为可能认为造成污染的措施?然而,在周期性地用于清洁度管理的密度测量试验中,只能评估洁净室中的离散测量点处的污染物浓度,例如通道或工作场所。因此,识别要从这些数据采取的污染源通常很困难。特别地,如果洁净室中的空气流是复杂的,例如非单向清洁室,则从单一污染源产生的污染物被扩散并在各种室内混合,因此污染源在哪里?很难确定。此外,由于在洁净室中有多种污染源,因此情况变得越来越复杂。作者制定了一种方法来基于污染物扩散模拟的结果来估计洁净室内的污染源的污染源。该方法计算为污染控制率,指示污染源受到每个污染源的影响,以及根据该贡献率的价值的洁净室管理员。可以确定措施的优先级。在本文中,我们报告了所发育的污染源区估计方法的轮廓。

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