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Reliable and Robust Fabrication Rules for Springtail-Inspired Superomniphobic Surfaces

机译：弹簧式推动的超级肌圆形表面的可靠和强大的制造规则

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We report a reliable and robust method for the fabrication of bioinspired superomniphobic surfaces with precise concave-cap-shaped micropillar arrays. This method includes silicon-based conventional microelectromechanical systems (MEMS) and polymer replication processes. We have elucidated two critical cases of fabrication rules for precise micromachining of a negative-shaped bioinspired silicon master. The fabricated polymeric structure replicated from the semipermanent silicon master based on the design rules exhibited high structural fidelity and robustness. Finally, we validated the superomniphobic properties, structural durability, and long-term stability of the fabricated bioinspired surfaces.
机译：我们报告了具有精确凹帽形微米阵列的生物透明超级圆形表面的可靠和稳健的方法。 该方法包括基于硅的传统微机电系统（MEMS）和聚合物复制过程。 我们阐明了两个关键的制造规则案例，用于对负形的BioInspired硅母料的精确微机器。 基于设计规则，从半硅硅师复制的制造的聚合物结构表现出高结构保真度和鲁棒性。 最后，我们验证了制造的生物悬浮表面的超级肌瘤性质，结构耐久性和长期稳定性。

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