Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie fur die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik

Kowarsch Robert

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Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie fur die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik

机译：通过相位偶联半导体激光器和千兆赫兹振动计量的吸光度调节纳米镜，外差激光干涉测量法

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Die vorliegende Dissertation wendet sich an Ingenieure und Wissenschaftler im Bereich der optischen Schwingungsmesstechnik und hochauflosenden Mikroskopie (Nanoskopie). Sie befasst sich mit der Modellierung und Simulation von zwei zentralen Herausforderungen der Geratetechnik der heterodynen Laser-Interferometrie fur die Schwingungsmessung an Mikrosystemen bis zu 6 GHz. Zum einen wird die Auswirkung der Gigahertz-Tragererzeugung mittels phasengekoppelter Laser in einer optoelektronischen Phasenregelschleife auf die Auflosung fur Schwingungsamplituden im Subpicometer-Bereich theoretisch untersucht und im Experiment demonstriert. Zum anderen wird mittels reversibel optisch schaltbarer Absorbanz in einer photochromen Dunnschicht ein Verfahren zur ortlichen Hochauflosung jenseits der Beugungsgrenze fur die Reflexionsmikroskopie untersucht. Anhand der Erkenntnisse werden Naherungsformeln sowie Hinweise fur die Anwendung gegeben.

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来源
《Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 8. Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik》 |2021年第1270期|共198页
作者
Kowarsch Robert;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 ger
中图分类工程测量;
关键词
Optische messtechnik; Lasermesstechnik; Laserinterferometrie; Vibrometrie; Schwingungsmesstechnik; Optische phasenregelschleife; Heterodynverfahren; Superresolution-Mikroskopie; Nanoskopie; Absorbanzmodulation;

机译：光学测量技术;激光测量技术;激光干涉测量;振动计;振动计量;光学相位锁定环;外差法;超级化学显微镜;纳米镜;吸光度调节;

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