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首页> 外文期刊>Boletin de la Sociedad Espanola de Ceramica y Vidrio >Peliculas amorfas de SixCyN depositadas mediante ECR-PECVD
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Peliculas amorfas de SixCyN depositadas mediante ECR-PECVD

机译：通过ECR-PECVD沉积的非晶SixCyN膜

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Se han realizado procesos de plasma de resonancia ciclotron electronica (ECR) con diferentes activadores y diluyentes gaseosos para obtener peliculas con carbono y nitrogeno a bajas temperaturas. En todos los casos se emplearon metano y nitrogeno como precursores de especies de C y N. La caracterizacion de las muestras se realizo mediante espectroscopia de infrarrojos por transformada de Fourier y elipsometria espectroscopica. Las medidas de espectroscopia de infrarrojos muestran que la presencia de pequenas cantidades de silano en el plasma altera sustancialmente la composicion de las peliculas, mientras que la adicion de hidrogeno no tiene efectos apreciables en la formacion de las mismas. Por otra parte, la utilizacion de argon o neon como diluyentes de los precursores gaseosos esta estrechamente relacionada con el grado de activacion de las moleculas de metano, segun se observa en los espectros de emision optica registrados en cada proceso. La aplicacion de campos de radiofrecuencia durante los depositos unicamente varia las velocidades de crecimiento.
机译：已经使用不同的活化剂和气态稀释剂进行了电子回旋共振（ECR）等离子体工艺，以在低温下获得具有碳和氮的薄膜。在所有情况下，甲烷和氮气均用作C和N物种的前体，并通过傅立叶变换红外光谱和椭圆偏振光谱法对样品进行表征。红外光谱测量表明，等离子体中少量硅烷的存在实质上改变了膜的组成，而氢的添加对膜的形成没有明显的影响。另一方面，如在每个过程中记录的光发射光谱中所观察到的，使用氩或氖作为气态前体的稀释剂与甲烷分子的活化程度紧密相关。存款期间射频场的应用只会改变增长率。

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