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FABRICATION OF LARGE-CORE, HIGH-DELTA OPTICAL WAVEGUIDES IN POLYMERS

机译：聚合物中大直径，高Δ光学波导的制备

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The realization of polymer optical waveguides that have a large core size and high refractive-index difference (LCHD) Delta transmission characteristics is presented. A fabrication procedure for the waveguide based on vertical dip coating and reactive ion etching has been studied. To achieve the lower propagation loss, this procedure includes two original techniques, i.e., the lamination of thick polymer films and sidewall flattening. With these techniques, Delta of 5.4% and a 80 mu m x 83 mu m core polymer waveguide with 1.4-dB/cm propagation loss were achieved at 680 nm. The LCHD polymer waveguides are useful for practical power-transmission devices. [References: 13]
机译：提出了具有大纤芯尺寸和高折射率差（LCHD）Delta传输特性的聚合物光波导的实现。研究了基于垂直浸涂和反应离子刻蚀的波导制造工艺。为了获得较低的传播损耗，该过程包括两种原始技术，即，厚聚合物膜的层压和侧壁平坦化。利用这些技术，在680 nm处实现了5.4％的Delta和80 nm×83μm的芯聚合物波导，具有1.4 dB / cm的传输损耗。 LCHD聚合物波导可用于实际的功率传输设备。 [参考：13]

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