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【24h】

SIMULTANEOUS MACHINING OF PARALLEL GROOVES IN SNO2 THIN FILMS USING A ND-YAG LASER AND A KINOFORM

机译：使用ND-YAG激光和Kinoform同时加工SNO2薄膜中的平行沟槽

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A kinoform is used to split the beam of a Nd:YAG laser into six beams. The laser beams are, by means of optical fibers and collimating-focusing optics, transferred to the surface to be machined. Thus multiple grooves can be machined simultaneously. For demonstration, 100-mu m-wide grooves are simultaneously machined into a SnO2 thin film deposited on a glass substrate. The resulting grooves are well isolated. This result shows that the technique could be used, for example, in solar cell manufacturing to increase the efficiency of laser scribing. [References: 7]
机译：用一个kinoform将Nd：YAG激光器的光束分成六束。激光束通过光纤和准直聚焦光学器件传递到要加工的表面。因此，可以同时加工多个凹槽。为了演示，同时将100微米宽的凹槽加工成沉积在玻璃基板上的SnO2薄膜。产生的凹槽被很好地隔离。该结果表明该技术可用于例如太阳能电池制造中以提高激光划刻的效率。 [参考：7]

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