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Integrated optical micromachined pressure sensor with spectrally encoded output and temperature compensation

机译：集成光学微机械压力传感器，具有频谱编码的输出和温度补偿

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A promising type of optical pressure sensor combines an integrated optical interferometer with a micro-machined diaphragm on a shared silicon substrate. We have demonstrated a sensor of this type that uses an unbalanced Mach-Zehnder waveguide interferometer together with a broadband source to produce a spectrally encoded measurement. This spectral encoding mechanism is advantageous as it is not readily degraded by transmission through optical fibers. We have also demonstrated a means to obtain a temperature-compensated pressure measurement by interrogating both polarization eigenmodes of the interferometer.
机译：一种有前途的光学压力传感器将集成的光学干涉仪与共享硅衬底上的微机械加工膜片结合在一起。我们已经证明了这种类型的传感器，该传感器使用不平衡的Mach-Zehnder波导干涉仪和宽带光源来产生频谱编码的测量结果。该频谱编码机制是有利的，因为它不容易通过光纤传输而降低。我们还展示了一种通过询问干涉仪的两个偏振本征模来获得温度补偿压力测量值的方法。

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