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【24h】

Repeatability of the composition of titanium oxide films produced by evaporation of Ti2O3

机译：通过蒸发Ti2O3产生的氧化钛膜组成的可重复性

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Congruent vaporization is a process that yields constant vapor species. Ti2O3 was continuously electron-beam evaporated to produce titanium oxide thin films. Rutherford backscattering spectrometry was employed to study the evolution of the composition of these films. It seems that congruent vaporization can be established in a coating plant. TiO2 films produced by conventional reactive deposition tend to contain mixtures of titanium oxides. Increasing the transmission of TiO2 films becomes an issue of increasing the TiO2 component in the films by adequate reactive evaporation. (C) 1998 Optical Society of America. [References: 25]
机译：同等蒸发是产生恒定蒸汽种类的过程。将Ti2O3连续电子束蒸发以生产氧化钛薄膜。卢瑟福背散射光谱法用于研究这些膜的成分的演变。看来可以在涂料厂中建立一致的蒸发。通过常规的反应沉积产生的TiO 2膜倾向于包含二氧化钛的混合物。通过适当的反应性蒸发，增加TiO 2膜的透射率成为增加膜中TiO 2成分的问题。 （C）1998年美国眼镜学会。 [参考：25]

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