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【24h】

Serial bideposition of anisotropic thin films with enhanced linear birefringence

机译：线性双折射增强的各向异性薄膜的串行双沉积

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We describe a serial bideposition technique in which a tilted substrate is rotated stepwise by half a turn about a normal axis during the evaporation of a metal oxide from a single electron-beam source. Coatings formed by the new method develop a columnar nanostructure that is perpendicular to the substrate and has greatest width or bunching perpendicular to the common deposition plane. With appropriate choice of deposition parameters, the method produces biaxial films with large birefringence, principal axes aligned parallel and perpendicular to the substrate, and improved uniformity. Measured phase retardances for light incident normally on the films are double the corresponding values for tilted-columnar films.
机译：我们描述了一种串行二次沉积技术，其中在从单个电子束源蒸发金属氧化物的过程中，倾斜的基板围绕法向轴逐步旋转半圈。通过新方法形成的涂层形成了垂直于基底的圆柱状纳米结构，并具有最大宽度或垂直于共同的沉积平面成束。通过适当选择沉积参数，该方法可生产出双折射大的双轴薄膜，其主轴线平行和垂直于基板排列，并提高了均匀性。正常入射到薄膜上的光的测量相位延迟是倾斜柱状薄膜的相应值的两倍。

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