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Empirical equations for the principal refractive indices and column angle of obliquely deposited films of tantalum oxide, titanium oxide, and zirconium oxide

机译：氧化钽，氧化钛和氧化锆倾斜沉积膜的主折射率和柱角的经验方程式

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Values of the transmittance T-s and the phase retardation Delta were recorded in situ at two angles during the growth of thin films of tantalum oxide, titanium oxide, and zirconium oxide for deposition angles theta(nu), in the range 40 degrees-70 degrees. Column angles for the same films were determined ex situ from scanning electron microscopy photographs of deposition-plane fractures. We show that the experimental column angles are smaller than the corresponding values predicted by the tangent-rule equation psi = tan(-1)(0.5 tan theta(nu)) and that the experimental values fit a modified form of the equation psi = tan(-1) (E-1 tan theta(nu)) where E-1 is less than 0.5. We also show that the principal refractive indices are represented well by quadratic functions of the deposition angle, for example, n(1)(theta(nu)) = A(0) + A(2) theta(nu)(2). (C) 1998 Optical Society of America. [References: 23]
机译：在氧化钽，氧化钛和氧化锆的薄膜的生长过程中，对于沉积角θ（nu），在40度至70度范围内，以两个角度原位记录透射率T-s和相位延迟Δ的值。从沉积平面裂缝的扫描电子显微镜照片非原位确定相同薄膜的柱角。我们显示实验列角小于切线规则方程psi = tan（-1）（0.5 tan theta（nu））预测的对应值，并且实验值适合方程psi = tan的修正形式（-1）（E-1 tan theta（nu）），其中E-1小于0.5。我们还表明，主要折射率由沉积角的二次函数很好地表示，例如n（1）（theta（nu））= A（0）+ A（2）theta（nu）（2）。 （C）1998年美国眼镜学会。 [参考：23]

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