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Fast surface profiling by spectral analysis of white-light interferograms with Fourier transform spectroscopy

机译：通过傅里叶变换光谱法对白光干涉图进行光谱分析，实现快速的表面轮廓分析

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We present a fast white-light interference method for measuring surface depth profiles at nanometer scales. Previously reported white-light profilers have relied either on path difference scanning or on spectral analysis of the reflection from a fixed interferometer. We show that by performing this spectral analysis with an imaging Fourier transform spectrometer, the high speed of spectral techniques may be combined with the simple data interpretation characteristic of the scanning method. Giving experimental results from a profiler based on this principle, we show that real-time visualization of surface profiles is possible and we report measurements with a repeatability of approximately 5 nm rms. We also demonstrate good agreement with stylus profiler measurements. (C) 1998 Optical Society of America. [References: 20]
机译：我们提出了一种用于测量纳米尺度表面深度轮廓的快速白光干涉方法。先前报道的白光轮廓仪依赖于路径差扫描或固定干涉仪反射的光谱分析。我们表明，通过使用成像傅里叶变换光谱仪执行此光谱分析，可以将光谱技术的高速与扫描方法的简单数据解释特征结合在一起。根据基于此原理的轮廓分析仪的实验结果，我们表明可以实时可视化表面轮廓，并且报告测量结果的重复性约为5 nm rms。我们还证明了与测针轮廓仪测量的良好一致性。 （C）1998年美国眼镜学会。 [参考：20]

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