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PERFORMANCE OF A COMPACT, HYBRID OPTICAL EVANESCENT-WAVE SENSOR FOR CHEMICAL AND BIOLOGICAL APPLICATIONS

机译：用于化学和生物应用的紧凑型混合光学迷幻波传感器的性能

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We describe a hybrid evanescent-wave sensor component that we fabricated by using an integrated optical interferometer with a specially adapted photodetector array. The design of the interferometer is based on the use of tapered waveguides to obtain two intersecting collimated beams. Phase shifts can be measured with an angular precision of better than 10(-3) rad, which corresponds to a superstrate index change inferior of 10(-6) with our structure. The interest in the device as a chemical sensor is experimentally demonstrated. The same optical component could be used in a variety of other sensor applications, e.g., biological and immunological sensors. (C) 1996 Optical Society of America [References: 10]
机译：我们描述了一种混合e逝波传感器组件，该组件是通过使用具有特殊适应的光电探测器阵列的集成光学干涉仪制造的。干涉仪的设计基于使用锥形波导来获得两个相交的准直光束。可以用优于10（-3）rad的角精度来测量相移，这与我们的结构的上层折射率变化相比要差10（-6）。实验证明了对该设备作为化学传感器的兴趣。相同的光学组件可用于多种其他传感器应用中，例如生物和免疫传感器。 （C）1996年美国眼镜学会[参考文献：10]

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