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FIDELITY OF POSTSCRIPT-GENERATED MASKS FOR DIFFRACTIVE OPTICS FABRICATION

机译：产生后衍射掩模的衍射光学系统的保真度

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A page description language such as POSTSCRIPT provides inexpensive and rapid output to high-resolution graphics engines for generating binary masks. However, the limitations of this technology have not been considered beyond a statement of the resolution of the output device. Measurements of three high-resolution laser image setters to quantify the limitations inherent to this type of mask fabrication show that the spot size and spot placement affect the performance of the final element. The expression of the graphics figure within the illustration program used to print the masks must also be considered. Strategies for compensating for print errors are described. [References: 11]
机译：诸如POSTSCRIPT之类的页面描述语言可为高分辨率图形引擎提供廉价且快速的输出，以生成二进制掩码。但是，除了声明输出设备的分辨率外，还没有考虑过此技术的局限性。对三个高分辨率激光图像设置器的测量以量化此类掩模制造所固有的局限性，结果表明，光斑尺寸和光斑位置会影响最终元件的性能。还必须考虑用于打印蒙版的插图程序中图形图形的表达。描述了用于补偿打印错误的策略。 [参考：11]

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