SOME DEVELOPMENTS FOR A UNIT MAGNIFICATION CATADIOPTRIC OPTICAL SYSTEM

Zhang YD.; Wang ZJ.

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SOME DEVELOPMENTS FOR A UNIT MAGNIFICATION CATADIOPTRIC OPTICAL SYSTEM

机译：单位放大倍数光学系统的一些发展

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Some structural improvements in the 1:1 Wynne-Dyson catadioptric system are described. The improvements make the 1:1 Wynne-Dyson system usable in the deep-UV regime and broad bands and high numerical apertures become possible. [References: 13]

机译：描述了1：1 Wynne-Dyson折反射系统的一些结构改进。这些改进使1：1 Wynne-Dyson系统可用于深紫外线领域，并且宽带和高数值孔径成为可能。 [参考：13]

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来源
《Applied optics》 |1995年第7期|共6页
作者
Zhang YD.; Wang ZJ.;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类光学;
关键词
Deep-uv optics; Optical design; Deep-uv lithography; 1/1 catadioptric optics;

机译：深紫外光学;光学设计;深紫外光刻;1/1折反射光学;

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