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Optical interferometry for measurement of the geometric dimensions of industrial parts

机译：光学干涉仪，用于测量工业零件的几何尺寸

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We describe an instrument for the measurement of surface flatness, parallelism, and size (thickness) of plane-parallel parts in a single measurement to 1σ gauge capability of 0.02, 0.03, and 0.06 μm, respectively. A low-coherence IR profiler viewing both sides of the part simultaneously, believed to be novel, accommodates a wide variety of industrial surface finishes, including machined, ground, or lapped parts, with a 75-mm field of view and 15,000 pixels per side. A heterodyne laser displacement gauge together with an integrated zeroing system allows for a range of part sizes from 0 to 100 mm.
机译：我们描述了一种用于在一次测量中分别测量0.02、0.03和0.06μm的1σ量规的表面平整度，平行度和平面平行零件的尺寸（厚度）的仪器。低相干IR轮廓仪可同时观察零件的两侧，这被认为是新颖的，它可适应多种工业表面光洁度，包括加工过的，研磨过的或研磨过的零件，其视野范围为75毫米，每侧15,000像素。外差式激光位移计与集成的归零系统一起，可实现0至100 mm的零件尺寸范围。

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