...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>International journal of nanoscience >NANOFABRJCATION OF NSOM PROBE ON THE CANTILEVER ARRAY
【24h】

NANOFABRJCATION OF NSOM PROBE ON THE CANTILEVER ARRAY

机译：悬臂阵列上NSOM探针的纳米制造

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
   

获取外文期刊封面封底 >>

       
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

In this paper, a new process to fabricate nanosized silicon oxide apertures on a cantilever array is presented. The various semiconductor processes such as alkine etching, stress-dependent thermal oxidation, dilute HP etching and Au sputter deposition were utilized. With the dilute HF etching process, the opening of the nanosized oxide aperture could be fabricated in a controlled manner. The Au thin layer was deposited on the oxide apertures on the cantilever array so that the 160 nm apertures on a (5 × 1) cantilever array were successfully fabricated.
机译：在本文中，提出了一种在悬臂阵列上制造纳米尺寸氧化硅孔的新工艺。利用了各种半导体工艺，例如链烷腐蚀，应力依赖的热氧化，稀薄的HP腐蚀和Au溅射沉积。利用稀HF蚀刻工艺，可以以受控方式制造纳米级氧化物孔的开口。将Au薄层沉积在悬臂阵列上的氧化物孔上，从而成功制造了（5×1）悬臂阵列上的160 nm孔。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号