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ニュートライボマテリアルとその応用:Si含有DLC膜のトライボロジー特性とその応用

机译:Nutribomaterials及其应用:含硅DLC薄膜的摩擦学特性及其应用

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摘要

直流プラズマCVD法によるDLC-Si膜の基本合成は,1991年に,初めて小栗らによって開発された.供給原料としてSi系のガスおよびCH{sub}4等の炭化水素系ガスの混合ガスを用いることで,直流方式のプラズマCVD法でもDLCの合成が可能であることを見出した.その後,森らによって,基材をナノスケールでエッチングする微細凹凸化技術による膜の高密着化が達成され,膜の信頼性が大きく向上した.このような背景のもと,ATF (Automatic Transmission Fluid)潤滑下におけるDLC-Si膜のトライボロジー特性が明らかにされ,クラッチ板の耐久性が飛躍的に向上された.さらに,DLC-Si膜の大量処理技術を開発することに成功し,これまで不可能であったクラッチ枚数の削減が実現され,電子制御4WDカップリングの小型·高容量·低コスト化が達成された.本稿では,DLC-Si膜のトライボロジー特性および,電子制御4WDカップリングへの適用事例について紹介する.
机译:1991年,Oguri等人首次提出了通过DC等离子体CVD方法基本合成DLC-Si膜的方法。 随后,Mori等人通过微凸技术实现了膜的高附着力,用于纳米级刻蚀基板,大大提高了膜的可靠性。 此外,我们成功地开发了一种处理大量DLC-Si薄膜的技术,这在以前是不可能的,并实现了迄今为止无法实现的离合器数量的减少。 本文介绍了DLC-Si薄膜的摩擦学特性及其在电控四轮驱动联轴器中的应用。

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