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Advanced Interconnects: Materials, Processing, and Reliability

机译：高级互连：材料，工艺和可靠性

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来源
《ECS Journal of Solid State Science and Technology》 |2015年第1期|共4页
作者
Baklanov Mikhail R.; Adelmann Christoph; Zhao Larry; De Gendt Stefan;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类电化学工业;
关键词

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1. Advanced Interconnects: Materials, Processing, and Reliability [J] . Baklanov Mikhail R., Adelmann Christoph, Zhao Larry, ECS Journal of Solid State Science and Technology . 2015,第1期

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