機械式ねじ溝型真空ポンプによる二成分気体の排気特性

神吉達夫; 兼本大作; 佐野紀彰

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機械式ねじ溝型真空ポンプによる二成分気体の排気特性

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ねじ溝式真空ポンプによる二成分気体の排気特性を実験的に明らかにするとともに，希薄気体の流動拡式と圧力の平滑化理論を用いて説明できることを示した．研究で得られた知見を以下に要約する，1）ねじ溝塑ポンプの排気性能は重い気体に対してれている?混合気体を排気する際，重い気体をりークせるとむしろ真空度がよくなる効果がある．2）この圧力低下の効果は，高圧填でほ，重い気体のリークにより気体の粘性が大きく果を高めることに起因する．3）この効果ほ、中間遷移流域で最も著しく，Knudsensen拡散で漏洩する軽い気体が重い気体分子との衝対突による拡散誘引効果を受け抑制されることに起因する．4）自由分子流域では成分気体ほ相互作用を受けずずに漏洩するため，重い気体のリークほ単にポンプの負荷となり圧力低下の効果は現れない．

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来源
《真空》 |2001年第3期|127-130|共4页
作者
神吉達夫; 兼本大作; 佐野紀彰;
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作者单位

姫路工業大学産業機械工学科;

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收录信息
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正文语种日语
中图分类真空技术的应用;
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