Scanarea electronica produce asa-numita Imagine electronica secundara a suprafetei probei si de asemenea o imagine microscopica a distributiei elementelor in apropierea suprafetelor, daca microscopul este echipat cu spectrometru cu raze X. Una din probe a fost un strat dublu de Cu/TiW pe o capsula de siliciu. Stratul de cupru a fost structurat sa aiba 30 microni pe o serie de matrice. S-a inregistrat o imagine la 20 KeV si 15nA. Timpul necesar pentru realizarea probei a fost de un minut. Dupa scurgerea acestei perioade de timp,.depunerile au fost vizibile in grile Cu-K_(alpha) ca spoturi luminoase, clar si in grilele mai putin intensive W-L_(alpha) si Ti-L_(alpha), unde au aparut ca spoturi intunecoase.
展开▼
