Design and fabrication of microlens arrays as beam relay for free-space optical interconnection

Zhengyu Miao; Wanjun Wang

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Design and fabrication of microlens arrays as beam relay for free-space optical interconnection

机译：微透镜阵列作为自由空间光互连的光束中继器的设计与制造

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In this paper we report the design and fabrication of a beam relay for free space optical interconnection using microlens arrays. Multiple microlens arrays with same focal lengths were designed and fabricated in an out-of-plane layout. This design can be easily integrated with silicon-based optical interconnection devices. The beam relay was fabricated using direct lithography of SU-8 photoresist, and then replicated using UV curable polymer molded with a PDMS intermediate mold. The optical performance was tested and the experimental results show that the optical performances are mainly limited by the aberration of micro-lenses. Further study needs to be conducted to improve the surface quality of the lenses to reduce the aberrations.

机译：在本文中，我们报告了使用微透镜阵列进行自由空间光学互连的光束继电器的设计和制造。具有相同焦距的多个微透镜阵列以平面外布局设计和制造。该设计可以轻松地与基于硅的光学互连设备集成在一起。使用SU-8光刻胶的直接光刻技术制造光束继电器，然后使用通过PDMS中间模具模制的UV固化聚合物进行复制。测试了光学性能，实验结果表明，光学性能主要受到微透镜像差的限制。需要进行进一步的研究以改善镜片的表面质量以减少像差。

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来源
《Microsystem technologies》 |2014年第11期|共5页
作者
Zhengyu Miao; Wanjun Wang;
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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类自动化系统;
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