メソスケール三次元形状測定技術－微細幾何計測の標準試料

三隅伊知子; Ichiko MISUMI

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メソスケール三次元形状測定技術－微細幾何計測の標準試料

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微細幾何計測の標準試料の事例として，一次元回折格子標準試料の現状を述べた．また，標準試料の使用時における留意点に触れ，標準試料の品質の分類を簡単に説明した．一次元回折格子標準試料以外の微細幾何計測の標準試料として，微小段差標準試料がある．微小段差標準試料の現状については，産総研·計測装置メーカ·標準試料メーカによる解説特集があるのでそちらを参照してほしい．一次元回折格子標準試料や微小段差標準試料以外の複数次元を同時に校正できる微細幾何計測用の標準試料への需要が高まってきてはいる．しかしながら，本稿で一次元回折格子標準試料に絞って述べることにしたきっかけを最後に紹介する．ある計測装置メーカの方と一次元回折格子標準試料について話をする機会があった．その際，例え物を作ることができたとしても正しく測れなければその物が存在しないのと同じである，あらゆる方向を同時に校正できる標準試料は存在しない，との発言があり，非常に印象深かった．校正とは何か，ということを改めて考えさせられる出来事であった．

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来源
《精密工学会誌》 |2008年第3期|222-225|共4页
作者
三隅伊知子; Ichiko MISUMI;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械制造工艺;仪器、仪表;
关键词
Dimensional nanometrology; Standard sample; Reference material; One dimensional grating;

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