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Coordinate metrology using scanning probe microscopes

机译：使用扫描探针显微镜进行坐标计量

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New positioning, probing and measuring strategies in coordinate metrology are needed for the accomplishment of true three-dimensional characterization of microstructures, with uncertainties in the nanometre range. In the present work, the implementation of scanning probe microscopes (SPMs) as systems for coordinate metrology is discussed. A new non-raster measurement approach is proposed, where the probe is moved to sense points along free paths on the sample surface, with no loss of accuracy with respect to traditional raster scanning and scan time reduction. Furthermore, new probes featuring long tips with innovative geometries suitable for coordinate metrology through SPMs are examined and reported.
机译：需要完成坐标计量学中的新定位，探测和测量策略，以实现真正的微观结构的三维表征，而不确定性在纳米范围内。在当前的工作中，讨论了将扫描探针显微镜（SPM）作为坐标计量系统的实现。提出了一种新的非光栅测量方法，其中将探头移动到沿样品表面上自由路径的检测点，相对于传统的光栅扫描和缩短的扫描时间，其准确性不受影响。此外，还研究并报告了具有长尖端的新型探针，这些探针具有适用于通过SPM进行坐标计量的创新几何形状。

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