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Design of a large measurement-volume metrological atomic force microscope (AFM)

机译：大体积计量原子力显微镜（AFM）的设计

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The design of a large measurement-volume metrological atomic force microscope (AFM) is presented. The translation of the sample is accomplished with multiple stages which allow for separate 'coarse' and 'fine' motion. Interferometers and autocollimators are used to measure the position and orientation of the sample. The instrument does not attempt to control position via feedback from the interferometers, thereby allowing use of readily available commercial translation stages and controllers.
机译：提出了一种大体积计量计量原子力显微镜（AFM）的设计。样品的平移是通过多个阶段完成的，这些阶段允许分开的“粗略”运动和“精细”运动。干涉仪和自动准直仪用于测量样品的位置和方向。该仪器不会尝试通过干涉仪的反馈来控制位置，从而允许使用现成的商用平移台和控制器。

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