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私の歩んできた道-ポリッシング加工とその汎用性

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摘要

ポリッシングというのは不思議な技術である.例えば使われる砥粒(研磨剤)のサイズにしてもmmのオーダーからnmのオーダーまでいろいろ使用されるし,モップ(研磨工具)の材料も各種のものが使用される.加工機も手作りのものから,CMPにおけるようにnmオーダーの精度の要求されるものまでいろいろある.それでも皆結構目的にあった加工を果たしている.それ故に家庭用から精密工業用まで広く使用されてきた.

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