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Patterning of metallic nanoparticles for the growth of carbon nanotubes

机译：金属纳米颗粒的图案化，用于碳纳米管的生长

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We report a straightforward method of patterning large ordered arrays of metallic nanoparticles using existing semiconductor processing technology. The topographies of contact holes created on full 200 mm wafers serve as templates to pattern Ni or Co nanoparticles. Over a large range of synthesis conditions, these patterned nanoparticles are demonstrated to successfully catalyse the growth of carbon nanotubes (CNTs) selectively in the patterned areas of the wafer. This approach to catalyst deposition is scalable and fully compatible with existing semiconductor processing technology. Thus, it can be exploited for a variety of applications where confinement of materials in nanometric domains is necessary. These results represent a further stEP 1towards the integration of CNTs into conventional Si-based technology.
机译：我们报告了一种使用现有的半导体加工技术对金属纳米颗粒的大型有序阵列进行构图的简单方法。在完整的200毫米晶片上形成的接触孔的形貌用作模板以图案化Ni或Co纳米粒子。在大范围的合成条件下，这些图案化的纳米颗粒被证明可以成功地催化晶片的图案化区域中碳纳米管（CNT）的选择性生长。这种催化剂沉积的方法是可扩展的，并且与现有的半导体处理技术完全兼容。因此，可以将其用于需要将材料限制在纳米域内的各种应用中。这些结果代表了将CNTs集成到传统的基于Si的技术中的进一步stEP 1。

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