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Nanofluidic structures with complex three-dimensional surfaces

机译：具有复杂三维表面的纳米流体结构

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Nanofluidic devices have typically explored a design space of patterns limited by a single nanoscale structure depth. A method is presented here for fabricating nanofluidic structures with complex three-dimensional (3D) surfaces, utilizing a single layer of grayscale photolithography and standard integrated circuit manufacturing tools. This method is applied to construct nanofluidic devices with numerous (30) structure depths controlled from ≈ 10 to 620 nm with an average standard deviation of <10 nm over distances of >1 cm. A prototype 3D nanofluidic device is demonstrated that implements size exclusion of rigid nanoparticles and variable nanoscale confinement and deformation of biomolecules.
机译：纳米流体装置通常已经探索了由单个纳米尺度结构深度限制的图案的设计空间。本文介绍一种利用单层灰度光刻和标准集成电路制造工具制造具有复杂三维（3D）表面的纳米流体结构的方法。此方法适用于构造纳米流体器件，其结构深度从≈10到620 nm，控制范围从≈10到620 nm，在> 1 cm的距离内平均标准偏差<10 nm。演示了一个原型3D纳米流体设备，该设备实现了刚性纳米颗粒的尺寸排阻以及生物分子的可变纳米级限制和变形。

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