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【24h】

結晶劈開性を利用した両面微細加工法を開発-超伝導デバイスの3次元集積技術に新展開-

机译：开发了利用晶体开放性的双面微加工方法-超导器件3D集成技术的新发展-

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鋼酸化物超伝導体は、結晶そのものが接合素子の構造を持ち、この各接合は、Bi_2Sr_2CaCu_2O_（8＋δ）（BSCCO）の場合、その間隔は約1．5nmで結晶のc軸方向に直列にスタックしていて、「固有ジョセフソン接合（IJJs）」と呼ばれています。 IJJsが高温超伝導体において発見された結果、3次元ナノエレクトロニクス分野が切り拓かれ、垂直方向·水平方向の接合により、「原子で創った摩天楼を空中で繋ぐがごとくにナノアーキテクトニクスが可能」と考えられています。 高周波領域の電磁波検出器、テラヘルツ（THz）発振器、超伝導ディジタル回路、量子コンピュータ素子など、次世代エレクトロニクスの主役が目白押しです。 しかしながら、従来の微細加工プロセスでは、単結晶の片面からのみ加工されるため、元々3次元に集積している接合を自由に切り出すことは不可能です。
机译：在钢氧化物超导体中，晶体本身具有键合元素的结构，并且在Bi_2Sr_2CaCu_2O_（8 +δ）（BSCCO）的情况下，间隔约为1.5nm，并且各层在晶体的c轴方向上串联堆叠。它称为“固有约瑟夫森联接（IJJs）”。作为在高温超导体中发现IJJ的结果，三维纳米电子学领域得到了开创性的发展，垂直和水平键合实现了“纳米建筑学，就像连接由空气中的原子创造的摩天大楼一样”。被认为是。诸如高频区域的电磁波检测器，太赫兹（THz）振荡器，超导数字电路和量子计算机元件等下一代电子产品是主要参与者。然而，在传统的微细加工工艺中，由于仅从单晶的一侧进行加工，因此不可能自由地切割出最初集成在三个维度上的结。

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