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光導波路中のナノスケール欠陥の観察に成功

机译:成功观察了光波导中的纳米级缺陷

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摘要

光集積回路は光ファイバー間の経路切り替えを電気信号に置き換えることなく光信号のまま行う素子で、情報通信ネットワークの高速化·大容量化のためにその発展が期待されています。 しかしその検査のためには外観を見るだけでは不十分で、実際にどのように光が流れているか、異常は無いか、ということを直接調べる必要があります。 特に最近では集積度や精度が向上し、ナノスケールの欠陥の影響も無視できなくなってきています。 私達は、近接場光学顕微鏡(NSOM)に直線偏光成分を分離して観察する機能を持たせ、光集積回路内部の微小な欠陥や微弱な歪みが光の伝播に与える影響を調べています。
机译:光学集成电路是一种在光纤之间作为光信号执行路径切换的元件,而不用电信号代替它,并且其发展有望加速和增加信息和通信网络的容量。但是,仅检查外观是不够的,必须直接调查光实际上是如何流动以及是否存在异常。尤其是最近,集成度和准确性得到了提高,并且纳米级缺陷的影响不再被忽略。我们有一个具有分离和观察线性偏振分量的功能的近场光学显微镜(NSOM),并且正在研究光学积分电路内部的微小缺陷和微弱畸变对光传播的影响。

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