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極紫外スペクトロメトリ

机译:极紫外光谱

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摘要

真空紫外(VUV:vacuum ultraviolet)光とは,Samsonによれば,2-200nmの波長領域の光で,その名前のとおり真空紫外光を導くダクトあるいは分光器等を真空にする必要がある。大気を構成する酸素分子と窒素分子の強い吸収は,それぞれ200nmおよび100nmから始まる。 極紫外(EUV:extreme ultraviolet)光は,MgF2あるいはLiFなどの窓材が使用できない領域,すなわち100nmより短波長の光を指す。 短波長端に関しては,一般的には直入射型分光器がカバーできるところまで,せいぜい30nmであろう。 これより短い波長領域のVUV光を軟Ⅹ線と呼ぶ。
机译:根据Samson所说,真空紫外(VUV)光是波长在2-200 nm之间的光,顾名思义,有必要对引导真空紫外光的导管或分光镜进行真空处理。构成大气层的氧和氮分子的强吸收分别从200 nm和100 nm开始。极紫外(EUV)光是指无法使用MgF2或LiF等窗口材料的区域,即波长小于100 nm的光。在短波长端,直射光谱仪可以覆盖的范围通常最多为30 nm。波长范围短于此的VUV光称为软X射线。

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