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Orientation-controlled BaTiO3 thin films fabricated by chemical solution deposition

机译:化学溶液沉积制备取向控制的BaTiO3薄膜

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摘要

We synthesized orientation-controlled (100), (110), and (111) BaTiO3 films by the chemical solution deposition method. The electric properties of the fabricated BaTiO3 thin films were evaluated, and dielectric constants of 2000 were found for the (110)-oriented and (111)oriented BaTiO3 film, with temperature dependence stabilized from 20 degrees C to 150 degrees C.
机译:我们通过化学溶液沉积方法合成了取向控制的(100),(110)和(111)BaTiO3薄膜。评估了所制备的BaTiO3薄膜的电性能,发现(110)取向和(111)取向的BaTiO3薄膜的介电常数为2000,温度依赖性从20摄氏度稳定到150摄氏度。

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