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Chromatically dispersed interferometry with wavelet analysis

机译：小波分析的色散干涉法

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A new white-light interferometry point sensor utilizing a chromatically dispersed depth detection field is addressed. Monitoring the interference in the optical frequency domain allows for microscopic height detection without the necessity of a mechanical axial scan. The problem of limited dynamic range in previously reported spectral interferometric schemes is solved by forming a high-contrast interference window due to the chromatically dispersed focusing of the detection field. In a proof-of-principle experiment, the position of a reflecting object could be retrieved with a focus of 0.8 NA over an axial range of 30 (mu)m by analyzing the phase of the emerging interference wavelets.
机译：解决了一种利用色散深度检测场的新型白光干涉测量点传感器。监视光学频域中的干扰可进行微观高度检测，而无需进行机械轴​​向扫描。通过形成由于检测场的色散聚焦而形成的高对比度干涉窗，解决了先前报道的光谱干涉方案中动态范围受限的问题。在原理验证实验中，可以通过分析出现的干扰小波的相位，在30μm的轴向范围内以0.8 NA为焦点来获取反射对象的位置。

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